第278章 光刻机测试（下）（1/2）

梁安平亲自动手，使用专用夹具，将光刻完的几十片硅晶圆装进专用容器，拿去芯片生产线那边，去进行后续的刻蚀、离子注入、薄膜沉积、化学机械研磨等步骤。

两个多小时之后，所有工序走完，几十片硅晶圆，变成了一千多枚封装完成的arm1芯片。吴志航、吴光辉、梁安平等高管和研发人员，开始动手对这批芯片进行全面测试。半小时后，所有芯片测试完成，梁安平对测试结果进行了汇总，最后宣布道：“此次一微米光刻机测试，共选用了35片硅晶圆，加工过后，切割封装成1750枚芯片。经全面测试，合格产品共1203枚，合格率为68.7%。也就是说，咱们光刻机研发实验室生产的第一台一微米光刻机，第一次开机测试生产，就成功了，且合格率已经达到了晶圆工厂内现有几台佳能和尼康光刻机的加工水平。”

听完梁安平的发言，吴志航带头鼓掌，其他北极星高管和研发人员，以及其他负责封装测试的员工紧随其后，现场爆发出一阵热烈的掌声。

第二天，吴志航驱车返回了深圳电子产业园，连别墅也没回，第一时间就来到了晶圆工厂。光刻机需要工作在超高无尘环境下，刚刚组装完成的测试样机正在无尘车间内安装调试。吴志航换了一身白色防尘服，戴上防尘帽，通过风淋间进入无尘车间。

此时是上午十点左右，处于每天的早班时间，晶圆工厂的四条芯片生产线正在全力运作，数千名工人，正在生产线上，有条不紊的工作。走过生产区域，进入测试区域，以梁安平为首的几十名研究人员，正围在一台一人多高的设备，做最后的调试，旁边还有几名北极星公司的高管站在那里围观。吴志航凑上前去，朝研发部长吴光辉问道：“这台就是光刻机研发实验室制作出的第一台光刻机，什么时候能开始光刻测试？”

听到有人提问，杨威力、丁小雅等人同时转头看过来，见是老板吴志航，纷纷打招呼问好，吴光辉出声给吴志航解释道：“对，就是这台机器，昨天组装完成之后，第一时间就从研发大楼搬运到了无尘车间，经过一天一夜的安装调试，现在已经要差不多了。”

吴志航满意的点点头，围着光刻机转了一圈，这台设备为全封闭结构，就像一个四四方方的铁皮文件柜，外壳喷涂成了乳白色，左右两侧，设置有硅晶圆入口和出口，靠外一侧安装着一个控制面板和一台大屁股显示器。他有些疑惑的问道：“只看外表，和佳能、尼康的光刻机似乎都不太一样，这是对外壳进行了优化吗？”